Центральная научная библиотека имени Якуба Коласа Национальной академии наук Беларуси

70 лет со дня рождения Пилипенко Владимира Александровича

Пилипенко Владимир Александрович – физик. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (2000), доктор технических наук (1991), профессор (1995).

Родился 18 июля 1949 г. в г. Мозырь Гомельской области. Окончил Белгосуниверситет (1971). С 1971 г. – инженер, начальник отдела научно-исследовательского конструкторско-технологического унитарного предприятия "Белмикросистемы" НПО "Интеграл". С 1996 г. – заместитель директора по научному развитию Государственного центра "Белмикроанализ" НПО "Интеграл". Одновременно с 1995 – профессор Белорусского государственного университета.

Выполнил исследования в области управляемой модификации свойств полупроводников, тонких пленок металлов и диэлектриков. Обнаружил эффекты, приводящие к ускорению процессов модификации свойств различных материалов под воздействием световых импульсов и предложил механизмы их возникновения: удвоение коэффициента диффузии примесей и отсутствие эффекта оттеснения базы эмиттером при твердофазной рекристаллизации ионнолегированных слоев кремния; формирование равновесной, термостабильной структуры легированных пленок алюминия и их контакта к кремнию; одностадийное формирование дисилицида титана. Разработал методы расчета температурных режимов и определил оптимальные условия, обеспечивающие минимизацию таких напряжений. Осуществилмоделирование процессов формирования различных тонкопленочных систем с применением быстрой термической обработки: геттерирования, оплавления легкоплавких стекол, рекристаллизации пленок алюминия, диффузионного синтеза силицидов различных металлов и др. Разработал технологию создания интегральных микросхем на базе быстрых термических обработок.

Премия академий Украины, Беларуси и Молдовы (2011) за работу «Фазовые и структурные модификации поверхностных слоев и пленок в технологии полупроводниковых приборов и СБИС».

Автор более 330 научных трудов, в том числе 11 монографий, 43 изобретений.

Труды учёного на сайте НАН Беларуси