Пилипенко Владимир Александрович

Физик. Член-корреспондент НАН Беларуси, заместитель директора по научному развитию ГЦ «Белмикроанализ» НПО «Интеграл». Доктор технических наук, профессор.

Биография

Владимир Александрович Пилипенко родился 18 июля 1949 г. в г. Мозырь Гомельской области. Окончил Белгосуниверситет (1971). С 1971 г. — инженер, начальник отдела научно-исследовательского конструкторско-технологического унитарного предприятия «Белмикросистемы» НПО «Интеграл». С 1996 г. — заместитель директора по научному развитию Государственного центра «Белмикроанализ» НПО «Интеграл». Одновременно с 1995 — профессор Белорусского государственного университета.

Выполнил исследования в области управляемой модификации свойств полупроводников, тонких пленок металлов и диэлектриков. Обнаружил эффекты, приводящие к ускорению процессов модификации свойств различных материалов под воздействием световых импульсов и предложил механизмы их возникновения: удвоение коэффициента диффузии примесей и отсутствие эффекта оттеснения базы эмиттером при твердофазной рекристаллизации ионнолегированных слоев кремния; формирование равновесной, термостабильной структуры легированных пленок алюминия и их контакта к кремнию; одностадийное формирование дисилицида титана. Разработал методы расчета температурных режимов и определил оптимальные условия, обеспечивающие минимизацию таких напряжений. Осуществил моделирование процессов формирования различных тонкопленочных систем с применением быстрой термической обработки: геттерирования, оплавления легкоплавких стекол, рекристаллизации пленок алюминия, диффузионного синтеза силицидов различных металлов и др. Разработал технологию создания интегральных микросхем на базе быстрых термических обработок.

Премия академий Украины, Беларуси и Молдовы (2011) за работу «Фазовые и структурные модификации поверхностных слоев и пленок в технологии полупроводниковых приборов и СБИС».

Автор более 330 научных трудов, в том числе 11 монографий, 43 изобретений.