Точицкий Эдуард Иванович

Ученый в области материаловедения в машиностроении и микроэлектронике, физики и технологии тонких пленок и покрытий. Член-корреспондент НАН Беларуси. Доктор технических наук, профессор.

Биография

Эдуард Иванович Точицкий родился 19 июля 1935 г. в г. Минске. В 1959 году окончил Белорусский государственный университет, по окончании которого пришел на работу в Физико-технический институт АН БССР. С 1976 года Э. И. Точицкий — заведующий лабораторией в Институте электроники АН БССР, с 1990 г. — директор Научно-инженерного центра «Плазмотег» государственного научного учреждения «Физико-технический институт НАН Беларуси».

Научные работы посвящены исследованиям реальной структуры тонких пленок, явлений эпитаксии, кинетики и термодинамики фазообразования при вакуумной конденсации тонких пленок и покрытий. Создал теорию кинетики зарождения и роста покрытий в условиях как стационарного, так и импульсного осаждения, установил влияние размерных эффектов на структурные и фазовые превращения в тонкопленочных системах, зависимость физических свойств и кристаллографической структуры пленок от условий кристаллизации и последующей термообработки. Разработал научные основы нового направления в материаловедении для микроэлектроники: формирование в вакууме элементов сверхбольших интегральных схем (СБИС), защитных и пассивирующих покрытий из импульсных потоков ускоренной плазмы; сформулировал принципы реализации метастабильных состояний в пленках и тонкопленочных системах, экспериментально получил алмазные и алмазоподобные углеродные пленки при низких температурах на подложках из различных материалов. Создал концепцию «сухой» ультрафиолетовой лазерной проекционной микролитографии, на ее основе разработал новую прогрессивную технологию изготовления СБИС в едином технологическом цикле. Специалист в области ключевых процессов наукоемкого, нематериалоемкого современного машиностроения, повышения долговечности и надежности машин и механизмов методом нанесения упрочняющих, износостойких, теплозащитных и коррозионностойких покрытий на детали машин и механизмов. Разработал уникальную технологию и промышленное оборудование, создал ускорители импульсной катодно-дуговой эрозионной плазмы, позволяющие получать наноразмерные материалы и с высокой точностью наносить многослойные и многокомпонентные покрытия заданного состава и толщины, а также синтезировать ранее неизвестные материалы при программируемом смешивании в любых пропорциях и сочетаниях плазменных потоков веществ, которые в равновесных условиях взаимно не растворяются и не реагируют. В последние годы развивал в Беларуси новые научные направления: микромеханические системы и наноэлектронику.

Награжден медалями.

Автор более 370 научных трудов, в том числе 3 монографий, 70 авторских свидетельств и патентов.

Умер 28 ноября 2007 г.